内容介绍：化學氣相沉積與介電質薄膜Hong Xiao, Ph. D. hxiao89@hotmail.comwww2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Book.htmHong Xiao, Ph. D.www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm1目標? 辨別至少四種化學氣相沉積的應用 ? 描述化學氣相沉積製程的流程 ? 列出兩種沉積區間並說明他們與溫度之間