内容介绍：电子特气基础知识第一章：电子特种气体基础知识 1. 电子特种气体分类： 可燃气体 SiH4;CH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3……. 氧化性气体 O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO…… 腐蚀性气体 HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4;NH3; WF6; Cl2;