内容介绍：摘要：微电子组装工艺会使用多台烘焙设备，对设备实施一体化监 控，以提升工艺效率、提高质量控制水平和设备运行安全水平。监控系 统采用RS485通信，可编程控制器（PLC）现场采集数据和实施控制，计 算机作为上位机进行监控和数据信息处理。监控系统运行于复杂的工业 现场，电磁干扰严重，易造成监控系统数据错误、误报警，甚至系统失 效。一体化监控系统需进行抗干扰设计，其分析和设计是一个难点。文 章针对多台烘