内容介绍：射频电源电路一、 主 要 技 术 性 能 1、 射频源： 1) 板极电压：200～1500V 连续可调 2) 板极电流：≦0.36A 3) 板极直流消耗功率：≦0.58KW。 4) 输出功率：6～500W 连续可调。 5) 频率：13.56MHz 2、 匹配箱： 1) 阻抗匹配范围：（2.7～45）Ω～j(0～70) Ω 2) 具有手动调节网络参数达到匹配之功能。 3) 网络参数由耦合和调谐旋钮刻