内容介绍：砷化镓材料国内外现状及发展趋势中国电子科技集团公司第四十六研究所 纪秀峰1 引言化合物半导体材料的研究可以追溯到上世纪初，最早报导的是 1910 年由 Thiel 等人研 究的 InP 材料。1952 年，德国科学家 Welker 首次把Ⅲ-Ⅴ族化合物作为一种新的半导体族来 研究，并指出它们具有 Ge、Si 等元素半导体材料所不具备的优越特性。五十多年来，化合 物半导体材料的研究取得了巨大进展，在