内容介绍：碳化硅结合氮化硅制品发展现状 摘要：阐述了碳化硅结合氮化硅制品的主要制备方法、反应机理、 用途以及影响其微观结构和性能的主要因素。新型氮化硅结合碳化硅 制品，在不增加过多投资的情况下就可以达到提高产品质量、节能增 产目的，是一种理想的更新换代产品。 关键词：碳化硅结合氮化硅 制备方法 反应机理 用途 中图分类号：TB35 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2013）04（c）-0086